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D6F-P MEMS流量传感器

小型、高精度、耐环境性能较好的​流量传感器

  • CYCLONE方式的运用,提升了耐尘性能。
  • 具有使用节状接头的连接器型、可直接安装到基板的导线端子型、以及使用复试接头的连接器型可供选择。
  • ±5%FS的高精度。
RoHS 指令
注意:此网页提供了数据表的摘录。有关详细信息,请参阅产品数据表和其他适用的文件。

本体
接头
连接
适用流体
流量范围
型号
节状接头 基板封装 空气 0 ~ 0.1 L/min. D6F-P0001A1
0 ~ 1 L/min. D6F-P0010A1
复式接头 D6F-P0010A2
连接器 D6F-P0010AM2

附件(另售)
种类
型号
电缆 D6F-CABLE2
D6F-CABLE2-L
注:附件详情请参阅第D-367页的"D6F系列 附件"。
额定值/性能
型号
D6F-P0001A1
D6F-P0010A1
D6F-P0010A2
D6F-P0010AM2
流量范围 *1 0 ~ 0.1 L/min 0 ~ 1 L/min
适用范围 *2 空气
接头形状 节状接头(最大外径4.9mm) 复式接头
端子规格 导线端子 3端子连接器
电源电压 DC4.75 ~ 5.25 V
消耗电流 无负载Vcc = 5V, 15 mA以下
输出信号 DC0.5 到 2.5 V (非线性输出,负载电阻10kΩ)
精度 ±5% FS (25°C 特性)
可重复性 *3 ±1% FS ±0.4% FS
最高输出电压 DC3.1 V (负载电阻: 10 kΩ)
最低输出电压 DC0 V (负载电阻: 10 kΩ)
绝对最大额定值电源电压 DC10 V
绝对最大额定值输出电压 DC4 V
外壳材质 PBT
保护构造 IEC IP40 (配管部除外)
耐压 50 kPa
压力损失 *3 0.05 kPa 0.19 kPa 0.67 kPa
操作环境温度 *4 −10 ~ 60°C
操作环境湿度 *4 35% ~ 85%
保存环境温度 *4 −40 ~ 80°C
保存环境湿度 *4 35% ~ 85%
温度的影响 环境温度 −10 ~ 60°C 时, 25°C 的特性±5% FS
绝缘电阻 传感器外壁与导线端子间: 20 MΩ 以上. (DC500V绝缘电阻)
耐电压 传感器外壁与导线端子间AC500V 50/60HZ以上 1分钟(漏电流1mA以下)
重量 8.5 g 8 g
注: 1. 表示0°C, 1气压下的体积流量
注: 2. 干燥不含灰尘油质的干净气体
注: 3. 参考值 (代表值)
注: 4. 无结冰凝露
  (单位 :mm)

基板封装型
D6F-P0001A1/D6F-P0010A1

 
A的详细视图
连接器安装孔推荐尺寸
 
  尺寸
D6F-P0010A2

 
A的详细视图

 
D6F-P0010AM2
A的详细视图
旋转防止用沟槽


 
B的详细视图
连接器详细


 
引脚 No. 1: Vcc
  2: Vout
  3: GND
连接器 SM03B-SRSS-TB (日本压着端子制造株式会社生产)
连接本产品的连接器,请使用下述由日本压着端子制造株式会社生产的连接器。
1) 压接连接器 插座: 03SR-3S
  电线: AWG#30 or
2) 压着连接器 端子: SSH-003T-P0.2
  基座: AWG#32 to #28
  电线: SHR-03V-S
套管
确保安装后用橡胶、聚氨酯、尼龙制成的套管压入而不脱落。聚氨酯类套管建议使用外径φ6mm、内径φ4mm的产品。
焊接条件
请使用电烙铁,押压100gf以下,温度350℃,保持5秒时间。(仅限基板封装型)


 

使用注意事项

关于传感器的使用用途

D6F是以常规机器中的使用为目的而制造。尤其是在用于下列对安全性有要求的用途时,应采取失效安全设计、冗余设计并实施定期检查等,在确保系统与设备整体的安全性的前提下使用。
•以人体保护为目的的安全装置
•运输设备的控制(行驶停止用途等)
•航空航天设备
•核能设备等
不可将D6F用于其动作直接关乎人命的用途。
 

关于流体和配管安装、传感器安装

共通
(1)请使用清洁的流体。灰、雾可能会导致特性变化和故障,应在配管上游侧设置滤网、油雾分离器。(D6F-W、D6F-V、D6F-P、D6F-PH除外)
(2)适用流体以外的可燃性气体(氢气等)、腐蚀性气体(氯气、硫、酸、碱等)是导致故障的原因,请勿使用。
(3)对于适用流体以外的流体,不属于性能保证范围。
(4)配管内异物混入是导致故障的原因,从包装袋内取出后,应防止异物进入配管内。
(5)配管安装时,请使流体沿本体上标示的箭头的方向流入。配管错误的状态下无法正确测量。(D6F-V/-P/-PH除外)
(6)配管建议采取水平的安装方向。 安装方向不水平时,可能会出现±1%F.S.以上的误差。(D6F-A3除外)
(7)传感器应安装在平面上。未正确安装时,可能会导致故障或无法正确测量。
(8)应在设备电源切断的状态下进行传感器的设置。如果在电源接通的状态下进行作业,可能会造成触电和误动作等。
(9)传感器安装后务必实施动作确认。
(10)请避免传感器掉落或拆卸盖板等。

D6F-P0001A1/-P0010A1/-P0010A2
(1)根据周围环境及安装位置等,可能有灰尘等异物进入传感器内部,造成部分或全部流路的堵塞或附着在传感器内部,导致传感器功能无法正常发挥的情况发生,请在使用前予以充分考虑,并在进行实际测评后进行使用。
(2) 安装配管时,请注意使流体从"+"向"-"方向流动。安装方向请参见第D-354页的图。
(3) 封装基板时,请先将本体固定在基板上,再进行端子焊接的安装操作。
焊接条件请使用电烙铁,押压100gf以下,温度350°C,保持5秒时间。( 仅限基板封装型)
(4) 传感器安装时,请使用M2.6平头螺钉或相同径规格的自攻螺钉,紧固转矩为0.59N●m以下。

D6F-P0010AM2
(1)根据周围环境及安装位置等,可能有灰尘等异物进入传感器内部,造成部分或全部流路的堵塞或附着在传感器内部,导致传感器功能无法正常发挥的情况发生,请在使用前予以充分考虑,并在进行实际测评后进行使用。
(2) 安装配管时,请注意使流体从"+"向"-"方向流动。安装方向请参见第D-354页的图。
(3) 传感器安装时,请使用M3平头螺钉或相同径规格的自攻螺钉,紧固转矩为0.59N●m以下。
(4) 将流体导入/导出部用密封圈等进行密封安装。推荐密封圈(JIS B 2401 编号 P4)
 

关于使用环境

关于使用环境,请避免在下述环境下使用。
·直接受到加热器热辐射的场所
·有水、油的场所
·日光直射的场所
·有尘埃、腐蚀性气体、可燃性气体的场所
·温度变化剧烈的场所
·有可能结冰结露的场所
·受很大振动、冲击影响的场所
 

关于抗干扰对策

由于干扰也可能导致无法进行正确的测定。使用时应该就以下事情进行考虑。
·尽可能的远离产生强烈高频的设备(高频焊接机、高频缝纫机等)及产生冲击电波的设备。
·针对产生干扰波的外围设备(特别是:电动机、变压器、螺线管线圈、电磁线圈等带有电感成分的东西)应采取浪涌吸收器、噪声过滤器等抗干扰对策。
(将配管、管道分离,使用屏蔽线等也是有效的方法之一)。
 

关于电源

·请用20N以下的力插入连接至本产品的连接器端子。在铺设电线时,请注意避免对连接器施加超出电线弯曲张力的力。另外,在插拔连接器时,请将电线统一固定,与嵌合轴进行同轴插入,拉拔角度控制在15°以内。
·与连接器连接端子直接焊接的话可能成为故障的原因,因此请选用适合的连接器。(除D6F-PH外)
·请按照端子名称及极性进行正确布线。错误的布线可能导致内部元件的故障。
·使用市场销售的开关调节器时,请将FG(Frame Ground端子)及G(Ground端子)接地。
 

关于使用

本产品为精密设备,掉落或过度冲击、施加外力均会引起故障或特性变化,因此请避免掉落、分解或对端子部施加过大的力。掉落的产品请勿使用。
·请在妥善管理的静电放电保护区域内使用本产品。
 

关于RoHS指令

根据RoHS规定表示不含有6种废止使用物质的产品(包括工程内及搭载基板的电子部件),在包装上标有RoHS标志。
※ 由于供应商的原因,如果把已经作为符合RoHS的零部件判定为
  不符合RoHS的产品时,不得已会将标志取消。

符合RoHS的判定标准

6种物质的适用判定标准如下所述。
(不适用RoHS指令的项目除外)
·铅 : 1000ppm 以下
·水银 : 1000ppm 以下
·镉 : 100ppm 以下
·六价铬 : 1000ppm 以下
·PBB : 1000ppm 以下
·PBDE : 1000ppm 以下