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D6F-PH MEMS差压传感器

小型、高精度、耐环境性能较好的差压传感器

  • ±3%RD的高精度。
  • 具备直线补偿、温度补偿功能。
  • 数字输出(I2C通信)。 
  • 高流量阻抗减少旁路配置的影响。
  • 备有4种从站地址型号
RoHS 指令
注意:此网页提供了数据表的摘录。有关详细信息,请参阅产品数据表和其他适用的文件。
适用流体 *1
测量范围 *3
从站地址 (7bit)
型号
空气 *2 0 ~ 250 Pa 0b110_1100, 0x6C D6F-PH0025AD1
0b110_1101, 0x6D D6F-PH0025AD1-1
0b110_1110, 0x6E D6F-PH0025AD1-2
0b110_1111, 0x6F D6F-PH0025AD1-3
-50 ~ 50 Pa 0b110_1100, 0x6C D6F-PH0505AD3
0b110_1101, 0x6D D6F-PH0505AD3-1
0b110_1110, 0x6E D6F-PH0505AD3-2
0b110_1111, 0x6F D6F-PH0505AD3-3
-500 ~ 500 Pa 0b110_1100, 0x6C D6F-PH5050AD3
0b110_1101, 0x6D D6F-PH5050AD3-1
0b110_1110, 0x6E D6F-PH5050AD3-2
0b110_1111, 0x6F D6F-PH5050AD3-3
注: 1. 适用流体以外的气体种类请向本公司营业人员咨询。
注: 2. 不含灰尘、油污、油雾等物质的干燥空气
注: 3. 标准大气压(1013.25 hPa)时的压力
 
性能
型号
D6F-PH0025AD1-□
D6F-PH0505AD3-□
D6F-PH5050AD3-□
流量范围 *1 0~250Pa ±50Pa ±500Pa
适用范围 *2 空气
接头形状 套筒接头、最大外径φ4.9mm、最小外径φ4.0mm
电源电压 DC2.3~3.6V
消耗电流 无负载,Vcc=DC3.3V、GND=DC0V、25℃时,6mA以下
分辨率 12bit
零点精度 *3 ±0.2Pa
满量程精度 *3 ±3%R.D.
温度特性(满量程) 每10℃为±0.5%R.D.以下
响应速度 Typ. 33ms、Max. 50ms(12bit) 转换时间 Typ. 6ms(12bit)
传感器通过流量 *5 63mL/min以下 23mL/min以下 100mL/min以下
通信方式 I2C
外壳材质 PPS
保护构造 IEC IP40 (配管部除外)
耐压 10 kPa
操作环境温度 *4 −10 ~ 60°C
操作环境湿度 *4 35% ~ 85%
保存环境温度 *4 −40 ~ 80°C
保存环境湿度 *4 35% ~ 85%
绝缘电阻 传感器外壁与导线端子间: 20 MΩ 以上. (DC500V绝缘电阻)
耐电压 传感器外壁与导线端子间AC500V 50/60HZ以上 1分钟(漏电流1mA以下)
重量 5.2 g
注: 1. 表示0°C, 1气压下的体积流量
注: 2. 干燥不含灰尘油质的干净气体
注: 3. 参考值 (代表值)
注: 4. 无结冰凝露
注: 5. D6F-PH基于热对流原理。测量差压需以空气流通为前提。流量与差压之间的典型关系即如下所示的特性。
(单位 :mm)

使用注意事项

关于传感器的使用用途

D6F是以常规机器中的使用为目的而制造。尤其是在用于下列对安全性有要求的用途时,应采取失效安全设计、冗余设计并实施定期检查等,在确保系统与设备整体的安全性的前提下使用。
•以人体保护为目的的安全装置
•运输设备的控制(行驶停止用途等)
•航空航天设备
•核能设备等
不可将D6F用于其动作直接关乎人命的用途。
 

关于流体和配管安装、传感器安装

共通
(1)请使用清洁的流体。灰、雾可能会导致特性变化和故障,应在配管上游侧设置滤网、油雾分离器。(D6F-W、D6F-V、D6F-P、D6F-PH除外)
(2)适用流体以外的可燃性气体(氢气等)、腐蚀性气体(氯气、硫、酸、碱等)是导致故障的原因,请勿使用。
(3)对于适用流体以外的流体,不属于性能保证范围。
(4)配管内异物混入是导致故障的原因,从包装袋内取出后,应防止异物进入配管内。
(5)配管安装时,请使流体沿本体上标示的箭头的方向流入。配管错误的状态下无法正确测量。(D6F-V/-P/-PH除外)
(6)配管建议采取水平的安装方向。 安装方向不水平时,可能会出现±1%F.S.以上的误差。(D6F-A3除外)
(7)传感器应安装在平面上。未正确安装时,可能会导致故障或无法正确测量。
(8)应在设备电源切断的状态下进行传感器的设置。如果在电源接通的状态下进行作业,可能会造成触电和误动作等。
(9)传感器安装后务必实施动作确认。
(10)请避免传感器掉落或拆卸盖板等。

D6F-PH
(1)根据周围环境和安装位置,可能会有尘埃等异物进入传感器并附着在内部,导致流路部分或全部堵塞。从而可能会导致传感器无法发挥前述特性,因此采用时应对此有充分的理解,在通过贵公司实际设备进行事前评估的基础上使用。
(2)配管安装时,请使流体从高压侧流向低压侧。安装方向请参见第D-358页的图。
(3)安装传感器时,请使用M1.8平头螺丝或具有同等直径的自攻螺丝,紧固扭矩请设置为0.36N·m以下。
(4)传感器的输出会受到配管长度的影响。最长800mm的配管(内径4mm)的误差为1%以下。
(5)关于连接
·配线时不可搞错端子的极性,否则会导致故障。
·请勿使用DIP焊接(流动焊接)。
·请将产品固定在基板上后进行焊接。
·焊接条件请使用电烙铁,并设置为加压100gf以下、
温度350℃、时间5秒。
 

关于使用环境

关于使用环境,请避免在下述环境下使用。
·直接受到加热器热辐射的场所
·有水、油的场所
·日光直射的场所
·有尘埃、腐蚀性气体、可燃性气体的场所
·温度变化剧烈的场所
·有可能结冰结露的场所
·受很大振动、冲击影响的场所
 

关于抗干扰对策

由于干扰也可能导致无法进行正确的测定。使用时应该就以下事情进行考虑。
·尽可能的远离产生强烈高频的设备(高频焊接机、高频缝纫机等)及产生冲击电波的设备。
·针对产生干扰波的外围设备(特别是:电动机、变压器、螺线管线圈、电磁线圈等带有电感成分的东西)应采取浪涌吸收器、噪声过滤器等抗干扰对策。
(将配管、管道分离,使用屏蔽线等也是有效的方法之一)。
 

关于电源

·请用20N以下的力插入连接至本产品的连接器端子。在铺设电线时,请注意避免对连接器施加超出电线弯曲张力的力。另外,在插拔连接器时,请将电线统一固定,与嵌合轴进行同轴插入,拉拔角度控制在15°以内。
·与连接器连接端子直接焊接的话可能成为故障的原因,因此请选用适合的连接器。(除D6F-PH外)
·请按照端子名称及极性进行正确布线。错误的布线可能导致内部元件的故障。
·使用市场销售的开关调节器时,请将FG(Frame Ground端子)及G(Ground端子)接地。
 

关于使用

本产品为精密设备,掉落或过度冲击、施加外力均会引起故障或特性变化,因此请避免掉落、分解或对端子部施加过大的力。掉落的产品请勿使用。
·请在妥善管理的静电放电保护区域内使用本产品。
 

关于RoHS指令

根据RoHS规定表示不含有6种废止使用物质的产品(包括工程内及搭载基板的电子部件),在包装上标有RoHS标志。
※ 由于供应商的原因,如果把已经作为符合RoHS的零部件判定为
  不符合RoHS的产品时,不得已会将标志取消。

符合RoHS的判定标准

6种物质的适用判定标准如下所述。
(不适用RoHS指令的项目除外)
·铅 : 1000ppm 以下
·水银 : 1000ppm 以下
·镉 : 100ppm 以下
·六价铬 : 1000ppm 以下
·PBB : 1000ppm 以下
·PBDE : 1000ppm 以下